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サイズ(mm):130×105×150
口径(mm):φ40
接続口:NW40

●材質:アルミシリコン合金
●リーク量:10-6mbarl/s(バルブ)、 10-7mbarl/s(カプリング)
●使用圧力:900000~1×10-3Pa
●ベーク温度:60℃

※型番( )内はダイアフラムの材質です。

商品の詳細な情報については、メーカーサイトでご確認ください。